2X旋片式真空泵原理图
2X旋片式真空泵原理图
图(1)是2X型旋片式真空泵的工作原理图,转子3及7与高真空室外1及低真空室6相切,转子3及7沿箭头方向旋转,带动转子槽内滑动的转片旋转,由于弹簧9及离心力的作用, 转片外端紧贴高低真空室的内表面滑动,把转子与高低真空室所形成的月洼形空间从进气嘴2到排气阀门5和从过气管4到排气阀门10之间分隔开来,形成二或三个容积,并且周期性的大小变化,当在图示旋片式真空泵位置继续旋转时A及C容积逐渐增大,被抽容积气体没进气嘴进入泵内,同时B及D容积逐渐减少,压力升高,随后冲开排气阀门5及10,将气体排出真空室外,气体经过油面而排于大气之中,因为油是淹住排气门的,故能防止气体返回真空室。当抽气压强较高时,高低真空室的阀门都排气,相当于单级泵,当真空度较高时,全部气体进入真空室,再由排气阀门10排出,此时二级串联即进入双级泵工作。
如被抽除的气体中含有较高的蒸汽气体时,在气体受到压缩而其蒸汽的分压强超过此蒸汽在泵内温度下的饱和压强时,此时蒸气被压缩成为液体,旋片式真空泵无法排出,而混在真空泵油内,使泵的性能大大降低,水蒸汽对真空泵的影响是非常大的。如果掺入适量的空气,使蒸汽在受到压缩时,其分压强也低于泵温的饱和压强,则蒸汽在变成液体前就能被排出泵外去,故本系列2X-4以上的旋片式真空泵都装有能放入一定量气体的掺气阀11见下图(1)。
1 | 高真空室外 | 2 | 进气嘴 | 3 | 转子 | 4 | 过气管 | 5 | 排气阀门 |
6 | 低真空室 | 7 | 转子 | 8 | 刮片 | 9 | 弹簧 | 10 | 排气阀门 |